초고 진공 스테인리스 스틸 : 316L 대 . 304 l vs . 440 c

 

316L-ESU가 진공 챔버의 금 표준 인 이유는 무엇입니까?
전자 슬래그가 새겨진 (ESU) 316L은 총 전도기를 달성합니다<5×10⁻¹¹ torr·L/s·cm². Bulk hydrogen content <0.5 ppm prevents virtual leaks. Certified to ASTM A479 with controlled magnetic permeability (<1.02 μ).

 

UHV 시스템에서 304L-VAR이 바람직한시기는 언제입니까?
진공 아크 Remelted 304L은 표준 등급보다 더 나은 궁극의 진공 (10 ¹⁰ MBAR)을 제공합니다 . 낮은 니켈 함량은 316L .에 비해 수소 투과율을 30% 감소시킵니다. ..

 

진공 베어링에 440C를 사용하는 이유는 무엇입니까?
입자가없는 작동에 대한 58-60 HRC로 경화되면 . 생산 제한 중 특수 진공 gassing 윤활제 outgassing .가 안정적으로 작동합니다.<10⁻⁹ mbar with dry film lubrication.

 

최소한의 아웃가스를위한 표면 준비?
Elecralpolishing은 20μm 표면 층을 제거 . 48 시간 동안 400도 빵을 따릅니다 . 최종 표면 거칠기 RA<0.05μm reduces adsorption sites. Hydrogen firing at 950°C for critical components.

 

진공 호환성을 확인하는 방법은 무엇입니까?
잔류 가스 분석기 (RGA) HAT, CO, HATE PEAKS . 총 질량 손실에 대한 테스트<0.1% per ASTM E595. Secondary ion mass spectrometry (SIMS) for surface contaminant mapping.